Показатель |
Значение показателя |
|
1 сорт |
2 сорт |
|
Содержание основного вещества, % ≥ |
99,5 |
98 |
Массовая доля дихлорсилана, %,≤ |
0,20 |
0,50 |
Массовая доля тетрахлорсилана, % , ≤ |
0,25 |
0,70 |
Массовая доля полимеров хлорсилана, % , ≤ |
0,05 |
0,30 |
Массовая доля бора, % , ≤ |
0,00001 |
0,00005 |